Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg

Kontakt

Martin-Luther-Universität
Halle-Wittenberg
Institut für Physik
Fachgruppe µMD

Telefon: +49 345 55 28 517
Telefax: +49 345 55 27 391

Heinrich-Damerow-Str. 4
06120 Halle

Weiteres

Login für Redakteure

Equipment


Herstellung:
Reinraum der Klasse 100 im TGZ mit kompletter Siliziumtechnologie (Lithographie, Beschichtung, Oxidation, ICP-Ätzen, ALD)

Templatprozesse:
  • Elektrochemisches Ätzen von Silizium und Aluminiumoxidmembranen
  • Kolloidkristalle (Polymer, SiO2)
  • Polymer und Metallnanostrukturen und Polymerkomposite durch Replikation von porösen Templaten
Simulation:
FEM, FD-TD, Bandstruktur, SMM
(16GB + 32GB-RAM Workstations)

Physikalische Charakterisierung:
REM, Optisch, ESR/ ENDOR
REM JEOL JSM IT100
FIB FEI versa3D
(TEM, Analytik bei Fraunhofer IMWS)

optische Charakterisierung (statisch):
UV-VIS, 1.55μm, IR-Spektralbereich
FTIR Bruker IFS 66/S mit Hyperion
Monochromator Horiba iHR550
opt. Mikroskop Olympus BX51 1000x
Raman Spektroskop Horiba Labram HR Evolution

sonstiges:
Sputterer Cressington 108auto
Poliermaschine Logitech CL50
Drahtsäge

Zum Seitenanfang