Biegemessung
Messung der Auslenkung von Biegeaktuatoren
Das Verfahren Bestimmung der Auslenkung von piezoelektrischen Biegeelementen beruht wie die quasistatische Messung der Mikrodehnungsmessung auf dem Kapazitätssondenprinzip. Hier ist jedoch die Probe einseitig fest eingespannt und die obere Elektrode dient gleichzeitig als eine Kondensatorplatte des Meßkondensators im HF-Schwingkreis. Die andere Platte bildet ein Kupferstreifen, der mit Hilfe einer motorisierten Mikropositionierung über dem freien Ende der Probe platziert wird. Eine Biegung der Probe verändert den Abstand zwischen den Kondensatorplatten und damit dessen Kapazität. Dadurch kommt es zu einer Frequenzverschiebung im Schwingkreis, die mit Hilfe eines Modulationsanalysators HP 8901A in ein Spannungssignal umgewandelt wird. Zur Kalibrierung dieser Spannung wird dann der Abstand zwischen Kupferstreifen und Probe um einen kleinen Betrag verändert und die Spannungsänderung gemessen. Im Gegensatz zur quasistatischen Mikrodehnungsmessung gibt es hier für die Meßfrequenz im Prinzip keine Einschränkungen. Allerdings kann nur bei Raumtemperatur gemessen werden.