200 kV Raster-Transmissionselektronenmikroskop
JEM 2010 (Fa. JEOL)
mit: - EDX Mikroanalysesystem Voyager 1100 (Fa. Noran Instruments)
(Ge-Leichtelementdetektor)
- TV Kamera mit Bildverstärker
und Digital-Image-Processor-Einheit (Fa. Gatan)
- Kühl- und Dehnhalter für
in situ Verformungsuntersuchungen (Fa. Gatan) |

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120 kV Transmissionselektronenmikroskop EFTEM LEO 912
(Fa. Leo)
mit: - "in-column"-OMEGA-Energiefilter
- 2k-Slow Scan CCD-Kamera (Fa. PROSCAN)
- Digitaler Rasterzusatz mit BF-, DF-,
SE- und BSE-Detektor
- EsiVision-Bildverarbeitungssystem
- Kühl- und Dehnhalter für
in situ Verformungsuntersuchungen (Fa. Gatan) |

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Rasterelektronenmikroskop JSM 6300 (Fa. JEOL)
mit: - EDX Mikroanalysesystem Voyager 1100 (Fa. Noran Instruments)
(Si-Leichtelementdetektor)
- In situ Dehnvorrichtung (Fa.
Oxford Instruments)
(-170 °C bis +300
°C, 200 N) |

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| Rasterkraftmikroskop Nanoscope IIIa MultiMode |
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| Rasterkraftmikroskop Nanoscope IV Dimension 3000 |

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| Bildverarbeitungssystem AnalySIS |
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| (Kryo-)Mikrotomie und (Kryo-)Ultramikrotomie |
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| HV-Bedampfungstechnik und Sputtergeräte |
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| Schleif- und Poliertechnik |
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